等離子清洗機

工作原理:

等離子清洗機是一種表面處理設備, 用氣體作為處理介質，它是利用能量轉換技術以電能將氣體轉換為化學反應性和活性很高的氣體等離子體，等離子體對固體樣品表面進行相互作用，引起分子結構改變，從而對樣品表面的有機污染物進行超清洗和使樣品表面改性，以獲得希望的表面特性。用氣體作為處理介質有效地避免了對環境和樣品帶來的二次污染。等離子清洗機外接真空泵，工作時氣體等離子體輕柔沖刷樣品的表面，短時間就可以使有機污染物被徹底地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗能力達到分子級。等離子清洗機可對樣品的表面改性，加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也可對樣品消毒和殺菌。

設備構成：

設備由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到所需工藝的真空度，再在高頻發生器的作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態）。高頻發生器提供能量使氣體電離成等離子態。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

真空腔的設置具有很強的靈活性，腔內有層極板插槽，根據需要每個插槽內的極板都可以設置為獨立的陽極、陰極。

應用領域：

適用于LED、LCD、SMT領域，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業等。
　　　★LED、LCD、SMT領域：LED打線、IC封裝前的清洗，LCD制造工藝中清洗偏光片、排線基位，電子元器件、光學元器件表面的清洗。
　　　★硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。